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BG removal tape

专门用来把 BG Tape 从超薄晶圆上完整撕下来的辅助胶带,不直接接触芯片电路,配合全自动撕膜设备使用,完成减薄后的保护膜剥离工序。

-低应力剥离:大幅降低薄晶圆裂片风险,适配<50μm 超薄硅晶圆、凸块 Bump 晶圆;

-洁净无残胶:胶层只和 BG 保护膜结合,不转移到芯片电路,减少二次清洗;

-适配多类型 BG 胶带:UV 型、部分非 UV 热释放型 BG Tape 均可兼容;

-适配自动化量产:匹配 8/12 英寸标准设备,对接 MES 系统,满足封测厂大批量生产要求。



应用领域

*功率器件 IGBT、MOS、SiC 晶圆背面减薄制程

*存储芯片超薄晶圆加工

*带 Bump 凸块晶圆、TSV 晶圆背磨后撕膜

*8/12 英寸大尺寸晶圆全自动产线

*DBG 先磨后切相关配套工序

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